氩气或氢气中微量氧分析用氧分析仪。一般选用量程在0.01ppm－1000ppmO2范围居多。此时，虽然氧化锆式及库仑式氧分析仪也能提供这个较宽的检测范围。但是，由于氧化锆式氧分析仪在对＜10ppmO2测定时，会受到气体中含有的微量还原性气体成份的干扰，数据偏差过大，故不宜使用。而库仑式氧分析仪和燃料池式氧分析仪均适合测定微量氧含量。不过根据具体情况选用时另有所侧重。如，燃料池式氧分析仪价格便宜，使用方便，无需维护是其独特优点，故而在国外普遍选用。但是，如果气体中含有微量酸性气体成份，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。而库仑式或氧分析仪（由F公司产）则对酸性气体成份有抗干扰性能，此时虽然价位偏高于燃料池式，则也是必选的产品。 另外，对于某些更高标准的要求，如需测定气体中1ppm－1ppbO2时，则库仑式氧分析仪更是有独到之处，而其他仪器根本不能满足使用要求。 对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有特殊型式的库仑式氧分析仪才能排除干扰，防止传感器中毒，给出正确分析数据。